Тонкі плівки мають вирішальне значення для мікроелектроніки, оптики та різних технологій та потребують глибокого структурного аналізу. Ця книга надає інформацію про методи розсіювання рентгенівських променів та їх застосування для аналізу тонких плівок (від 1 нанометра до 10 мікрометрів). Читачі отримають фундаментальні знання для використання цих неруйнівних методів, що дасть їм змогу розшифрувати складні зв'язки між структурою тонкої плівки, її призначенням та процесом росту.